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渦輪分子泵

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抽氣速(su)率(lv)：600L/s
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最大(da)前(qian)級壓(ya)力：4000Pa
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抽氣速率：1200L/s
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極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
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抽(chou)氣速(su)率(lv)：2000L/s
極限(xian)壓(ya)強(qiang)：5×10-7 Pa
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抽氣(qi)速率(lv)：2000L/s
極限壓(ya)強：5×10-7 Pa
最大前級壓(ya)力(li)：100Pa
電(dian)機轉(zhuan)速：24000r/min
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